Neue VDI-Richtlinie zum Monitoring von Reinräumen veröffentlicht

Die neu veröffentliche Richtlinie VDI 2083, Blatt 3.1 beschreibt die dauernde anlagenbezogene messtechnische Überwachung einzelner Parameter von reinraumtechnischen Anlagen. Die Überwachung kann kontinuierlich (z. B. Druck, Temperatur, Feuchte, Partikel und Luftgeschwindigkeit) oder sequenziell (z. B. Mikrobiologie) erfolgen. Außerdem werden in dieser Richtline Verfahren zur Durchführung von Messungen an reinraumtechnischen Anlagen spezifiziert und die dafür geeigneten Messgeräte beschrieben, um diese als Standard für die Überwachung festzulegen. Desweiteren unterscheidet die neue Richtline klar zwischen den periodisch zu wiederholenden Messungen zur Routine- und fortlaufenden Kontrolle und den überwiegend permanent durchzuführenden Messungen für das "Monitoring". Nur für Letztere, das klassische "Monitoring", gilt die neue Richtlinie VDI 2083, Blatt 3.1. [Die periodischen Routinekontrollen werden in der Reihe DIN EN ISO 14644 beschrieben sowie in Richtlinie 2083 Blatt 3, welche ebenfalls kurz vor der Überarbeitung steht].

Die Vorgaben zu den permanenten Überwachungsmessungen (Monitoring) haben zum Ziel, den Anwender bei der Auswahl von Methoden zu unterstützen, die es ermöglichen, anlagen- und prozessbedingte Abweichungen von den Anforderungen im Betrieb (z.B. Druckkaskade, Partikelkonzentrationen) zu ermitteln.
Die neue Richtlinie ist wie folgt aufgebaut:

Anwendungsbereich, Abgrenzung zwischen Monitoring und Klassifizierungsmessungen
Normative Verweise
Begriffe, Aktionsgrenze, Alarmgrenze
Messgrößen, Messunsicherheit, Kalibrierung, Anforderungen an Messgeräte
Raumbezogene Messgrößen: Druck, Temperatur, rel. Feuchte, Luftgeschwindigkeit, Partikel, Luftkeime
Partikelmonitoring: Probenahme, Messstellen, Probenlufttransport
Mikrobiologisches Monitoring: Probenahme, Probenahmeplan, Messverfahren
Schnittstellen
Software
Alarmierung
Dokumentation: Datenarchivierung, Alarmprotokoll, Audit Trail, Datensicherung
Checkliste für die Auslegung eines Monitoring-Systems

Die neue Richtlinie VDI 2083, Blatt 3.1 ist also ein Hilfsmittel, um eine permanente Überwachung von Reinräumen und Reinen Bereiche zu planen und umzusetzen. Die Richtlinie listet die meisten Parameter auf, die betrachtet werden müssen, um einen kontrollierten Produktionsprozess zu überwachen und dies zu dokumentieren. Es sind nicht alle möglichen Parameter aufgeführt, sondern der Betreiber eines Reinraumes ist angehalten, nach einer Risikobetrachtung, alle Parameter für seinen Produktionsprozess festzulegen. Desweiteren sind speziell für das Partikelmonitoring Grundlagen zusammengefasst, die in diversen Regularien bereits gefordert waren. Die VDI 2083 Blatt 3.1 ist also keine Pflichtlektüre, die Checklisten im Anhang können aber ein gutes Hilfsmittel sein, um ein Monitoring aufzubauen und zu betreiben.

Autor
Dr. Robert Eicher
CONCEPT HEIDELBERG